1. 产品简介
钛含量≥：99.8（%)杂质含量：0.02（%）
牌号： TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6AL4V)，GR1，GR2，GR3，GR5( Ti6AL4V)
钛圆靶 ：技术条件：符合GB/T2695-1996，ASTMB348-97
钛板靶 ：技术条件：符合GB/T3621-94，ASTM B265-93
用途：用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层，玻璃镀膜工业
2. 产品规格
圆靶：常用规格：60/65/95/100*30/32/40/45mm
板靶：(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
管靶： 70mm * 7mm/10mm
3. 材质
TA1（Grade 1）、Zr1、Ta1、Mo1、Ni6
4. 性能标准
化学成分符合 GB/T 3621-2007，GB/T 2965-2007，GB/T 3625-2007 等标准。
5. 标准值
| 化学成分参考标准 |
牌号 |
Al |
V |
N≤ |
C≤ |
H≤ |
Fe≤ |
O≤ |
其他元素（单一） |
其他元素（总和） |
TA1 |
|
|
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.20 |
0.18 |
0.1 |
0.40 |
TA2 |
|
|
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
0.1 |
0.40 |
TC4 |
5.5-6.75 |
3.5-4.5 |
0.05 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.20 |
0.1 |
0.40 |
机械性能参考标准 |
| 牌号 |
室温下力学性能，不小于 |
抗拉强度 |
屈服强度 |
伸长率 |
断面收缩率 |
TA1 |
240 MPa |
170MPa |
25% |
30% |
TA2 |
345MPa |
275 MPa |
20% |
30% |
TC4 |
895MPa |
825 MPa |
10% |
20% |
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